芯片 半导体 清洗烘干 洁净烘箱 南京盟腾智能

芯片 半导体 清洗烘干 洁净烘箱 南京盟腾智能

做温度均匀性 ±1.0℃ 的烘箱企业

系统工艺

将原料或工件放置在料盘或托架上，由物料车融入干燥腔内，预先根据物料或工件特性设置好所需要的相关参数，关闭箱门，开启加热，系统开始工作；当物料或工件进入箱体后，系统根据用户设置的参数运行，物料或工件吸收散热器传递的能量，柔性均匀受热，湿热水分气化有导风板传出，一部分湿气通过“盟腾”*特的湿热冷凝装置将湿气变成水滴排出腔体，减少湿气在箱内的停留时间，加快脱水效率，大部热能在箱内循环，平衡箱内温度均匀性，以达到省时·节能的目的。

“盟腾”洁净烘箱采用程序化数字控制技术，波段曲线式温控设计，可根据物料和工件特性，实现物料和工件/箱内温度之间同步温升，减少物料和工件热处理时的温度差，实现高品质的热处理；精密烘箱具有热处理能强、温度均匀性好，升温速度快、控温精准性好，功耗低等优点。

系统特点

■ 构造简单，易于检查、清扫、操作、维护；

■ 在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到 Class 100

■ 箱体内周全氩气保护性密焊，耐高温硅胶密封锁紧；

■ 箱体内SUS304#或SS316L不锈钢，机体无微尘颗粒产生；

■ 平面水平由左侧向右送风，经高温H.E.P. A过滤器过滤，过滤效率99.9%；

■ 圆弧角特殊风道设计防气雾聚结，进口经高温过滤，附自动启闭风门；

■ 强制送风循环方式，变频智能调节风量，双风道循环结构，温度场分布均匀；

■ 多段曲线式温升，物料和工件柔性受热，实现高品质热处理；

■ 批次质量管理、缺陷分析功能，可有效正向促进企业产品质量；

■ 过程化质量管理控制、经得起质量溯源的安全设备；

可定制功能

根据物料和工件特性，系统可实现功能

■ 高洁净度：根据工艺需要，系统洁净度可达“百级”；

■ 温控精度：根据工艺需要，系统控温精度较高可达“0.1℃”；

■ 保温效果：根据工艺需要，系统保温效果较高可达“± 1℃”；

■ 计量精确：根据工艺需要，系统计量精度较高可达“0.01 %”；

■ 加热速率：柔性曲线送升温，过程均匀更，处理速度更快捷；

■ 控制系统：智能模组控制技术，系统更节能；

■ 质量控制：数据化管理、记录，杜绝人为因数干扰产成品质量：

■ 管理：层级管理，密码控制，程序根据级别的职责进行，避免泄漏技术机密；