半导体 电子设备烘干 洁净烘箱 南京盟腾

做温度均匀性 ±1.0℃ 的烘箱企业

半导体 电子设备烘干 洁净烘箱 南京盟腾

洁净烘箱

关键词：微电子、通讯、半导体、元器件、仪表、电子、电工及航空、新材料、精细化工等热处理

一、应用范围

洁净烘箱主要应用于半导体制造中硅片、化镓、馄酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤，也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验；

■ 航空•新材料/密封件/金属材料等物料或工件的热处理、干燥、固化、清洗后的烘干；

■ 微电子/电工/半导体•新材料、电极、粉末、绝缘、涂层、器件的热处理、干燥、固化、封装、清洗后的烘干；

■ 新能源/电池/太阳能•原辅材料/器件的热处理、干燥、固化、清洗后的烘干；

■ 汽车/机械•零部件、器件、密封件、阀件、变压器、电机的热处理、干燥、固化、加工除油后的烘干；

■ 新材料/化工等先进金属材料、高分子材料、非金属材料、稀土材料、信息材料、电极、涂覆等产品的热处理、脱水、、干燥、固化；

二、系统工艺

将原料或工件放置在料盘或托架上，由物料车融入干燥腔内，预先根据物料或工件特性设置好所需要的相关参数，关闭箱门，开启加热，系统开始工作；当物料或工件进入箱体后，系统根据用户设置的参数运行，物料或工件吸收散热器传递的能量，柔性均匀受热，湿热水分气化有导风板传出，一部分湿气通过“盟腾”*特的湿热冷凝装置将湿气变成水滴排出腔体，减少湿气在箱内的停留时间，加快脱水效率，大部热能在箱内循环，平衡箱内温度均匀性，以达到省时·节能的目的。

“盟腾”洁净烘箱采用程序化数字控制技术，波段曲线式温控设计，可根据物料和工件特性，实现物料和工件/箱内温度之间同步温升，减少物料和工件热处理时的温度差，实现高品质的热处理；精密烘箱具有热处理能强、温度均匀性好，升温速度快、控温精准性好，功耗低等优点。