做温度均匀性 ±1.0℃ 的烘箱企业
无尘 热风循环烘箱 净化车间使用 南京盟腾烘箱
无尘 热风循环烘箱
关键词:微电子、通讯、半导体、芯片 PCB板 元器件、仪表、电子、电工及航空、新材料、精细化工等热处理
一、应用范围
无尘烘箱主要应用于半导体制造中硅片、化镓、馄酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤,也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验;
■ 航空•新材料/密封件/金属材料等物料或工件的热处理、干燥、固化、清洗后的烘干;
■ 微电子/电工/半导体•新材料、电极、粉末、绝缘、涂层、器件的热处理、干燥、固化、封装、清洗后的烘干;
■ 新能源/电池/太阳能•原辅材料/器件的热处理、干燥、固化、清洗后的烘干;
■ 汽车/机械•零部件、器件、密封件、阀件、变压器、电机的热处理、干燥、固化、加工除油后的烘干;
■ 新材料/化工等先进金属材料、高分子材料、非金属材料、稀土材料、信息材料、电极、涂覆等产品的热处理、脱水、干燥、固化;
系统特点
■ 构造简单,易于检查、清扫、操作、维护;
■ 在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到 Class 100
■ 箱体内周全氩气保护性密焊,耐高温硅胶密封锁紧;
■ 箱体内SUS304#或SS316L不锈钢,机体无微尘颗粒产生;
■ 平面水平由左侧向右送风,经高温H.E.P. A过滤器过滤,过滤效率99.9%;
■ 圆弧角特殊风道设计防气雾聚结,进口经高温过滤,附自动启闭风门;
■ 强制送风循环方式,变频智能调节风量,双风道循环结构,温度场分布均匀;
■ 多段曲线式温升,物料和工件柔性受热,实现高品质热处理;
■ 批次质量管理、缺陷分析功能,可有效正向促进企业产品质量;
■ 过程化质量管理控制、经得起质量溯源的安全设备;